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HMDS预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺显得更为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。双门精密送风循环烤箱。52微拍秒拍福利一区二区 太仓热风循环工业烤箱生产厂家

600度高温回火炉技术规格书一、设备名称：HOTTSP-HT600度高温回火炉二、设备型号：HOTTSP-HT600三、设备型号定义：HOTTSP-昆山台上品工业自动化有限公司简称；600—整机最高温度600度；HT—H表示高温设备；T表示非标设备。四、设备用途：五金件、电子零件、精密零部件产品前后的热间加工。五、温度要求：5．1热间有效范围内，温控的控制精度正负5度，均温性2%。5．2正常使用500度，比较大温度600度。六、设备能力:温度到计时，时间到报警。（后改为程式表，并增加了电压表）七、设备工作原理及组成描述：7.1工作原理：运用大功率加热器将空气加热，升温到设定温度后自动保温计时，时间到报警提示。7.2设备组成：HOTTSP-HT600高温回火炉一台。八、工艺流程8.1加热流程1上料→2关门密封→3加热升温→4温度到计时保温→5保温时间到报警→6断电降温→7开门下料虎丘区性价比高工业烤箱生产厂家精密双室双控送风烤箱。

真空烘箱规格书一、箱体结构尺寸1.内尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按实物3.控制器：位于机台右侧4.门：由左边往右边开5.内胆材质：质量不锈钢SUS304#3.0T板6.外箱材质：钢板粉体静电烤漆1.2T，涂装采用酸洗脱脂与皮膜处理与采高黏着力液体喷涂7.保温材质：采用质量高温耐热岩棉（最高耐温700℃）,保温性能佳，节能省电，环保无污染8.炉门保温材质：高温耐热岩棉（最高耐温700℃），配备硅胶门条，有效防止热量流失，保持温度平稳，节能效果佳9.分层：分3层，3个不锈钢烤盘10.门口装不锈钢方钢框20T*W30

對施工的各專業人員進行資質審查，凡從事特種工作的操作人員須持證上崗。3.6、物資控制對進入現場的原材料、半成品、零部件等物資品質的控制要求，並由責任部門和責任者對物資的品質控制進行監督檢查，認真做好檢查記錄，建立物資控制機制。3.7、工序控制對關鍵部位和薄弱環節設置控制點，並實施具體的控制措施和辦法。施工過程中嚴格“三檢”制度，開展QC小組活動，做到“誰施工，誰負責”，“上道工序不合格不得轉入下道工序”。3.8、品質檢驗及不合格產品的控制嚴格按照品質檢驗規章制度，實行崗位責任制對不合格產品堅決返工，獎優罰劣。3.9、核對總和試驗控制（1）對工程中的材料、半成品、零部件等必須做到件件檢查，件件合格才能使用。（2）施工品質嚴格按合同規定的品質檢驗評定標準進行施工、檢查、評定。3.10、加強內部的技術管理（1）圖紙會審。開工前，由技術部門組織專業人員對該工程和施工圖進行會審，解決施工圖紙上存在的問題。提出詳細施工計畫、材料計畫、施工方案，並作好圖紙會審記錄。（2）技術交底。開工前，由有關技術人員進行施工工藝規範，技術品質要求書面的詳細交底。石墨烯应用技术隧道炉。

加热管采用质量电加热器加热。空气加热方式1.由烘箱进气口进风至加热器风槽内；2.空气经加热后在烘箱内部做循环运风，废气从排气口排出。（外排风管由客户自备）控温温控器1.采用台上品HOTTSP微电脑自动演算单段温控器，有PV与SV双LED显示功能；2.自带PID自动整定演算输出，控制精细。超温保护器1.采用超温保护器；2.当温度超过超温保护器设定值时，自动切断加热电源。时间控制0~99.9小时可任意设定，时间到达后有报警并自动停止加热。加热管控制采用SSR固态继电器控制加热器，节能效果佳，控温效果更稳定，性能更。温度传感器采用K型热电偶，测温精细。时控开关附一个时控开关，可设置定时开关机。低压电气组件主要电器采用施耐德，日本欧姆龙中间继电器。记录仪配1台国产6通道无纸记录仪，有效记录烘箱温度。()安全和防护空气开关防止过流和短路电机过流保护防止电机烧毁超温保护防止工作室温度过高，保护产品接地保护结构件安全接地保护。电源缺相相序保护配有相序保护器环境条件环境温度-5℃-45℃相对湿度≤85%RH安装场地烘箱左右后侧距离墙壁不得小于600mm。周围无强烈的振动和气流存在，不含盐分气体、有毒及腐蚀性气体，没有导电性尘埃。工业烤箱品牌生产厂家。昆山重型工业烤箱出售

圆型钟罩烧结炉 2. 用 途 铜金属基材热导管烧结、退火热处理用。52微拍秒拍福利一区二区 太仓热风循环工业烤箱生产厂家

l風機的啟動、停止；l電源指示，風機及燃燒器工作狀態的指示。l風機及加熱器的啟動、停止。l溫度的自動調節、顯示。l事故急停及故障狀況的指示。利用溫度感測器對溫度進行自動控制、顯示、上限報警。烘乾的溫度由數位式溫控儀顯示，顯示儀顯示並控制所需的溫度，還附有上限溫度報警功能。加熱器與風機連鎖，風機啟動後加熱器才能啟動；當風機發生故障時，加熱器不能啟動或停止供熱；當加熱器關閉時，風機能工作，使烤房內達到正常溫度。控制系統還具有以下優點：l操作直觀簡便，顯示。l自動聯鎖、安全生產方面，考慮周全，設計嚴密。一旦某種故障發生，控制系統立即報警。l電氣元件選型優良，確保整個設備長期可靠運行。電氣控制櫃：為前開門，外殼接地，材料：鋼板、烤漆。（提高電箱的品質規格，保證質量。）52微拍秒拍福利一区二区 太仓热风循环工业烤箱生产厂家

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